Simone一种多晶硅还原炉
的有关信息介绍如下：
《一种多晶硅还原炉》是中国恩菲工程技术有限公司于2011年7月1日申请的专利，该专利的申请号为2011101853830，公布号为CN102351192A，授权公布日为2012年2月15日，发明人是严大洲、肖荣晖、毋克力、汤传斌、汪绍芬、姚心。该专利涉及多晶硅生产技术领域
《一种多晶硅还原炉》包括：底盘和炉体，所述炉体连接在所述底盘上且在所述炉体与所述底盘之间限定出反应腔室；四十八对电极，所述四十八对电极设在所述底盘上且分别分布在第一、第二、第三和第四圆周，所述第一、第二、第三和第四圆周为以所述底盘中心为圆心且半径依次增大的同心圆周；进气系统，所述进气系统包括设在所述底盘中部的多个喷嘴；和排气系统，所述排气系统包括多个排气口，所述排气口设在所述底盘上且位于所述第四圆周与所述炉体之间。根据该发明实施例的多晶硅还原炉，可以合理利用热能，同时也可以避免炉体内侧壁带走过多热量，可以降低热量损耗。
2020年7月，《一种多晶硅还原炉》获得第二十一届中国专利银奖。
（概述图为《一种多晶硅还原炉》摘要附图）
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